影像测量仪都是通过单轴或者二维平面坐标进行测量的，测量的方法是：先对焦、后对准、再读数，最后得出结果。对焦对准依靠的是显微镜光学系统，读数依靠的是标尺即光栅系统，如果被检测的物体不能被有效的照明，出来的测量结果也会出现偏差，这个影响是比较直接的。同时环境条件也会对测量的结果产生影响，下面迪泰影像测量仪总结几个误差来源：
1)光栅计数尺的误差;
2)工作台移动时存在的直线度、角摆带来的误差;
3)工作台两测量轴垂直度带了的误差;
4)显微镜光轴与工作台面不垂直带了的误差;
5)测量室温度带来的误差;
6)光源照明条件的变化带来的对焦和对准误差。
在这几种因素中,前四项误差,是硬件误差,在仪器制造过程中已经形成并固定下来,一般无法改变;温度影响带来的误差,必须通过控制测量室的温度和等温过程来减小其影响。
这种影响,对于测量具有重复图形结构之间的间距时,只要整个测量过程中照明条件保持不变,其影响可以忽略,因为每个重复图形结构都同时在变大或变小,间距的测量计算直接消除了影像变形的影响,如测量玻璃尺、网格板刻线间距;除了这种特殊情形外,如测量圆的直径、工件的长度和宽度,都将带来明显的误差。
最后一项则常被忽视,而在实际测量中,当光源照明条件改变时,直接影响被测工件的照明效果和影像质量,主要是因为影像测量仪的图像是通过ccd接收,尽管ccd具有自动调节增益的功能,但当亮度过大时即失去调节功能,导致被测工件影像在缩小,当亮度过低时,工件影像反而变大。
影像测量仪的测量误差或许不可避免，不过当我们正视这些问题，我们可以将误差缩小到忽略不计。想要了解影像测量仪更多相关内容：http://www.tsen-om.com
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